ZEISS O-INSPECT 442 蔡司復合式測量機 O-INSPECT442多探頭測量系統，測量行程：400mm X 400mm X 200mm，稱作是四機一體的雙測頭測量機，提供了非常精確的測量結果，以Z佳的重現性，在可以評定是否形狀，位置公差范圍內和出測量結果報告；O-INSPECT，光學和接觸式兩種量測可以同在一臺測量機。

蔡司掃描電鏡ZEISS O-INSPECT 322 蔡司復合式測量機 O-INSPECT332多探頭測量系統，測量行程：300mm X 200mm X 200mm ，可稱作是四機一體的雙測頭測量機，提供了非常精確的測量結果，以Z佳的重現性，在可以評定是否形狀，位置公差范圍內和出測量結果報告.